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真空氣氛爐

型號 : NBD-VBF-1200

真空氣氛爐是一種專門設計用於在高真空或特定氣氛環境下進行材料處理、熱處理和化學反應的設備,廣泛應用於冶金、半導體製造、新材料研發、化工等領域。該設備通過精確控制氣氛條件(如真空、惰性氣體、還原性氣體等)和溫度,確保材料在無污染條件下完成高效的處理過程。真空氣氛爐能夠顯著提高材料的質量和性能,適用於對環境要求極高的實驗和生產過程。


特點:

1. 高純度環境

    ● 高效真空泵:可選配高效真空泵系統,能夠在短時間內將爐內抽至高真空狀態(通常可達10^-6 Torr),確保處理過程中無氧無污染。

    ● 氣氛控制系統:可以處理各種氣氛環境,如真空、惰性氣體(氬氣、氮氣)、還原性氣體(氫氣)等,滿足不同工藝需求。

2.均勻加熱

    ● 溫控精度:採用先進的PID溫控系統,支持多段程序控制,確保溫度控制精度高,可重複性好。

    ● 溫度均勻性:通過優化加熱元件佈局和溫控系統,確保爐內溫度分佈均勻,避免局部過熱或冷點。

3. 精准氣氛控制

    ● 氣氛切換裝置:允許在不同氣氛條件下進行實驗,如從一種氣氛切換到另一種氣氛。

    ● 氣體流量控制器:用於精確控制氣體流量和比例,確保氣氛環境的穩定性和一致性。

    ● 壓力調節:部分型號配備壓力調節裝置,確保氣氛環境的壓力保持在設定範圍內。

4. 安全設計

    ● 多重保護措施:內置超溫保護、過流保護、緊急停機按鈕等多重安全保護措施,確保操作安全。

    ● 洩漏檢測:配備壓力和氣體洩漏檢測裝置,實時監測洩漏情況,確保安全。

    ● 防爆設計:對於需要使用易燃氣體(如氫氣)的情況,具備防爆設計,確保極端條件下的安全性。

5. 操作便捷

    ● 觸控螢幕控制界面:配備觸控螢幕控制界面,支持數據記錄和遠程監控,操作簡便。

    ● 用戶友好:具有友好的用戶界面,易於操作和維護。

    ● 預設程序:提供多種預設加熱程序和氣氛條件,方便用戶根據具體需求選擇合適的工藝參數。

設備名稱

真空氣氛爐

規格型號

VBF-1200 200 × 200 × 300

供電電源

三相380V  50 / 60HZ

額定功率

45KW

溫區數量

單溫單控

傳感器類型

S型熱電偶Φ8 × 300 mm

浮子流量計

20-200L / min

Tmax

1300 (使用溫度室溫下1200℃)

爐膛材料

304不銹鋼板 + 鉬板

爐膛尺寸

Φ392 × 410 mm

有效工作尺寸

200 × 200 × 300 mm

推薦升溫速率

≤10 / min

真空泵

BSV90 KF40接口 (極限真空4Pa

分子泵

進氣口CF200,出氣口KF40 (極限真空5*10^-6Pa

整機極限真空

6.7*10^-3Pa (空爐、冷態)

爐體尺寸

1835 × 2040 × 1625 mm

水冷機尺寸

706 × 1235 × 1035 mm

◎ 通過 CE認證

◎ 廠牌 / NOBODY

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