特點及應用：

● 小型 - 可移動、功能齊全且經濟高效 - 適合您的實驗室。

2. ● 2.6 升低成本等離子體實驗室系統 ZEPTO 具有手動和基本 PC 控制功能，主要用於以下應用：小批量生產、分析（SEM、TEM）、醫學工程、滅菌、研發部門、考古、紡織技術、塑膠技術等。

規格：

● Semi-automatic MHz

● 尺寸：寬：425 mm 高：310 mm 深：450 mm

● 電源：230V| 16A

● 真空室：鋁製圓形，附蓋, Ø：190 mm 高：60 mm ,體積約1公升

● 供氣：2 x 針閥

● 發生器：13.56 MHz |功率輸出0-200W

● 電極：空室內的電極- Ø：最大160 mm 6"晶圓

● 控制單元：半自動控制單元

● 電源：230V | 50 - 60 Hz

● 壓力測量：皮拉尼

● 幫浦：最小吸力3立方米/小時

品牌:Diener /德國, CE

低壓電漿系統 / 德國Diener