特點及應用：

● 奈米電漿體系統可以以模組化方式組合成不同的變體。

● 奈米電漿體系統主要應用於以下領域：分析、考古、汽車、研發部門、半導體技術、小批量製造、塑膠技術、醫學工程、微系統工程、感測技術、消毒、紡織技術等。

規格：

● 腔室容積：約18 - 24 公升

● 外殼：桌上型/獨立式

    ＞寬 560 / 600 mm

    ＞高 600 - 860 / 1700 mm

    ＞深 600 / 800 mm

● 電漿產生器：

    ＞100 kHz / 0 - 500 W

•     ＞80 kHz / 0 - 1000 W
•     ＞13.56 MHz / 0 - 100 W；0 - 300 W
•     ＞2.45 GHz / 0 - 600 W

● 控制：

    ＞半自動

•     ＞基本電腦
•     ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量生產

•     ＞生產/全自動

● 真空室：

•     ＞有蓋或鉸鏈門的不鏽鋼圓形：Ø 267 mm D420 mm

•     ＞不鏽鋼長方形，有鉸鏈門：B 240 mm x H 240 mm x D 420 mm
•     ＞鋁製長方形，附鉸鏈門：B 240 mm x H 240 mm x D 420 mm
•     ＞圓形石英玻璃（UHP），附蓋或鉸鏈門：Ø 240 mm，D 400 mm
•     ＞硼矽玻璃 (HP) 圓形，有蓋或鉸鏈門：Ø 240 mm，D 400 mm

品牌:Diener /德國, CE

低壓電漿系統 / 德國Diener