特點及應用：

● Femto 電漿系統可以以模組化方式組合成不同的變體。

● Femto 電漿系統主要用於以下領域：分析、考古、汽車、研發部門、半導體技術、小批量製造、塑膠技術、醫學工程、微系統工程、感測技術、消毒、紡織技術等。

規格：

● 腔室容積：約2 - 3升

● 外殼：桌上型/獨立式

    ＞寬 310 - 560 / 600 mm

    ＞高 211 - 860 / 1700 mm

    ＞深 420 - 600 / 800 mm

● 電漿產生器：

    ＞40 kHz / 0 - 100 W

    ＞100 kHz / 0 - 500 W

    ＞13.56 MHz / 0 - 200 W

    ＞2.45 GHz / 0 - 300 W

● 控制：

    ＞半自動

    ＞基本電腦

    ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量

    ＞生產

● 真空室：

•     ＞含蓋不鏽鋼圓形：Ø 100 mm，D 278 mm
•     ＞帶鉸鏈門的不鏽鋼矩形：B 103 x H 103 x D 285
•     ＞鋁製長方形，附鉸鏈門：B 110 mm x H 120 mm x D 300 mm
•     ＞圓形石英玻璃（UHP），附蓋/鉸鏈門：Ø 95 mm，D 280 mm
•     ＞硼矽玻璃（HP）圓形帶蓋/鉸鏈門：Ø 95 m，D 280 mm

品牌:Diener /德國, CE

低壓電漿系統 / 德國Diener