應用：

● Tetra 150電漿系統主要用於以下領域：考古學、汽車、生命科學、彈性體技術、電機工程、電子顯微鏡、精密工程、研究與開發、半導體技術、小批量生產、塑膠技術、醫學工程、微系統技術、太陽能電池技術、紡織技術等.

 

規格：

● 腔室容積：約 150 公升

● 外殼：

    ＞寬 600 毫米

    ＞高 2100 毫米

    ＞深800毫米

● 電漿產生器：

    ＞80 kHz / 0 - 1000；0 - 3000 W

    ＞13.56 MHz / 0 - 300 W；0 - 600 W； 0 - 1000 W
    ＞2.45 GHz / 0 - 1000 W

● 電漿控制：

    ＞基本PC

    ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量生產

    ＞生產/全自動

● 真空室：

    ＞鋁製矩形，有鉸鏈門，最大深度3米

        1.寬400 mm x 高600 mm x 深625 mm
        2.寬600 mm x 高400 mm x 深625 mm

    ＞不鏽鋼長方形帶鉸鏈門

        1.寬400 mm x 高600 mm x 深625 mm

  

品牌: Diener / 德國, CE