特點及應用：

● 我們小型電漿清洗機中的大孩子

● 具有手動和基本 PC 控制功能的 10.5 公升低成本電漿體實驗室系統 ATTO 主要用於以下應用：小批量製造、分析（SEM、TEM）、醫學工程、消毒、研發部門、考古學、紡織技術、塑膠技術等

規格：

● 半自動 kHz / 半自動 MHz

● 尺寸：寬：525 mm 高：257 mm 深：420 mm

● 真空室：圓形硼矽酸鹽玻璃，鉸鏈門 Ø：211 mm 深：300 mm , 體積約10.5升

● 供氣：2 x 針閥

● 電漿產生器：40 kHz |功率輸出0-200W

                            13.56 MHz |功率輸出 0 - 300 W

● 電極：電極位於真空室外

● 控制單元：半自動控制單元

● 電源：230V| 50 - 60 Hz

● 壓力測量：皮拉尼

● 幫浦：最小吸力6立方米/小時

品牌:Diener /德國, CE

低壓電漿系統 / 德國Diener