特點及應用：

● Pico 電漿系統可以以模組化方式組合成不同的變體。

● Pico電漿體系統主要用於以下領域：分析（SEM、TEM）、考古學、汽車、研發部門，半導體技術、小批量生產，塑膠技術、醫學工程、微系統技術，感測器技術，消毒、紡織技術等

 

規格：

● 腔室容積：約5 - 8 litres

● 外殼：桌上型/獨立式

    ＞寬 310 - 560 / 600 mm

    ＞高 330 - 860 / 1700 mm

    ＞深 420 - 600 / 800 mm

● 電漿產生器：

    ＞40 kHz / 0 - 200 W

    ＞100 kHz / 0 - 500 W
    ＞13.56 MHz / 0 - 300 W（最大 200 W）
    ＞2.45 GHz / 0 - 300 W

● 控制裝置

    ＞半自動

    ＞基本電腦
    ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量生產

    ＞生產/全自動

● 真空室：

    ＞含蓋不鏽鋼圓形：Ø 150 mm，D 320 mm
    ＞不鏽鋼長方形，附鉸鏈門：B 160 mm x H 160 mm x D 325 mm
    ＞鋁製長方形，附鉸鏈門：B 160 mm x H 160 mm x D 325 mm
    ＞圓形石英玻璃（UHP），附蓋或鉸鏈門：Ø 130 mm，D 300 mm
    ＞硼矽玻璃 (HP) 圓形，附蓋或鉸鏈門：Ø 130 mm，D 300 mm

 

品牌:Diener /德國, CE