應用：

● Tetra 100 電漿系統主要用於以下領域：分析（SEM、TEM）、考古學、汽車、生命科學、 彈性體技術，電機工程、電子顯微鏡、精密工程、研究與開發、半導體技術、

小批量生產、塑膠技術、醫學工程、微系統技術、太陽能電池技術、紡織技術等

規格：

● 腔室容積：約100公升

● 外殼：

    ＞寬 600 mm

    ＞高 1700 - 2100 mm

    ＞深800 mm

● 電漿產生器：

    ＞80 kHz / 0 - 1000；0 - 3000 W

•     ＞13.56 MHz / 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W
•     ＞2.45 GHz / 0 - 1000 W

● 控制：

    ＞基本PC

•     ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量生產

•     ＞生產/全自動

● 真空室：不銹鋼/鋁製矩形，帶鉸鏈門：B 400 mm x H 400 mm x D 625 mm，最大深度3米

品牌: Diener / 德國, CE

低壓電漿系統 / 德國Diener