真空爐(可控制氣氛型)
特點:
1. 高純度環境
● 高效真空泵:可選配高效真空泵系統,能夠在短時間內將爐內抽至高真空狀態(通常可達10^-6 Torr),確保處理過程中無氧無汙染。
● 氣氛控制系統:可以處理各種氣氛環境,如真空、惰性氣體(氬氣、氮氣)、還原性氣體(氫氣)等,滿足不同工藝需求。
2. 均勻加熱
● 溫控精度:采用先進的PID溫控系統,支持多段程序控制,確保溫度控制精度高,可重複性好。
● 溫度均勻性:通過優化加熱元件布局和溫控系統,確保爐內溫度分布均勻,避免局部過熱或冷點。
3. 精准氣氛控制
● 氣氛切換裝置:允許在不同氣氛條件下進行實驗,如從一種氣氛切換到另一種氣氛。
● 氣體流量控制器:用於精確控制氣體流量和比例,確保氣氛環境的穩定性和一致性。
● 壓力調節:部分型號配備壓力調節裝置,確保氣氛環境的壓力保持在設定範圍內。
4. 安全設計
● 多重保護措施:內置超溫保護、過流保護、緊急停機按鈕等多重安全保護措施,確保操作安全。
● 泄漏檢測:配備壓力和氣體泄漏檢測裝置,實時監測泄漏情況,確保安全。
● 防爆設計:對於需要使用易燃氣體(如氫氣)的情況,具備防爆設計,確保極端條件下的安全性。
5. 操作便捷
● 觸控螢幕控制界面:配備觸摸屏控制界面,支持數據記錄和遠程監控,操作簡便。
● 用戶友好:具有友好的用戶界面,易於操作和維護。
● 預設程序:提供多種預設加熱程序和氣氛條件,方便用戶根據具體需求選擇合適的工藝參數。
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規格型號 |
VBF-1200 (200 × 200 × 300) |
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供電電源 |
三相380V 50/60HZ |
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額定功率 |
45KW |
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溫區數量 |
單溫單控 |
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傳感器類型 |
S型熱電偶 φ8 × 300 mm |
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浮子流量計 |
20-200L / min |
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Tmax |
1300℃ (使用溫度室溫下1200℃) |
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爐膛材料 |
304不鏽鋼板 + 鉬板 |
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爐膛尺寸 |
φ392 × 410 mm |
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有效工作尺寸 |
長200 × 高200 × 深300 mm |
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推薦升溫速率 |
≤10℃ / min |
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真空泵 |
BSV90 KF40接口 (極限真空4Pa) |
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分子泵 |
進氣口CF200,出氣口KF40 (極限真空5 × 10^-6Pa) |
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整機極限真空 |
6.7 × 10^-3Pa (空爐、冷態) |
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爐體尺寸 |
長1835 × 高2040 × 深1625 mm |
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水冷機尺寸 |
長706 × 高1235 × 深1035 mm |
◎ 通過 CE認證
◎ 廠牌 / NOBODY