應用：

● Tetra 30 電漿體系統主要用於以下領域：分析（SEM、TEM）、考古學、汽車、生命科學、彈性體技術、電氣工程、電子顯微鏡、精密工程、研究與開發、半導體技術、小批量生產、塑膠技術、醫學工程、微系統技術、太陽能電池技術、紡織技術等.

 

規格：

● 腔室容積：約34 - 50 公升

● 外殼：

    ＞寬 600 mm

    ＞高1700 - 2100 mm

    ＞深800 mm

● 電漿產生器：

    ＞40 kHz / 0 - 1500 W

    ＞80 kHz / 0 - 1000 W； 0-3000 W
    ＞13.56 MHz / 0 - 300 W
    ＞2,45 GHz / 0 - 850 W

● 控制

    ＞基本PC

    ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量生產

    ＞生產/全自動

● 真空室：

    ＞不鏽鋼長方形帶鉸鏈門

         1.寬 305 mm x 高 305 mm x 深 370 mm
         2.寬 400 mm x 高 140 mm x 深 625 mm
         3.寬 305 mm x 高 300 mm x 深 625 mm

    ＞鋁製矩形，帶鉸鏈門，最大深度。 3米

         1.寬 305 mm x 高 300 mm x 深 370 mm
         2.寬 305 mm x 高 300 mm x 深 625 mm

品牌: Diener /德國, CE