應用：

● Tetra 2800-LF-PC 生產系統的腔室容積為 2,800 公升，採用 PC 控制，用於大量生產（清潔、蝕刻和活化）：分析、考古學、汽車、研發部門、半導體技術、小批量生產、塑膠技術、醫學工程、微系統技術、感測器技術、消毒、紡織技術等

規格：

● 腔室容積：約2800升

● 外殼：控制櫃 寬600 mm 高1700 - 2100 mm 深800 mm

● 電漿產生器：

    ＞80 kHz / 0 - 1000；0 - 3000 W

    ＞13.56 / 0 - 300 W；0 - 600 W；0 - 1000 W

    ＞2.45 GHz / 0 - 1200 W

● 控制方式：全電腦

● 應用範例：生產/全自動

● 真空室：不鏽鋼槽，鉸鏈門：Ø 1200 mm，D 2500 mm

品牌: Diener / 德國, CE