應用：

● Tetra 45電漿系統可以以模組化方式組合成不同的變體。腔室高度為 125 mm，寬度為 572 mm，特別適合大型零件。由於腔室由鋁擠型材製成，因此長度可以靈活調整。

● Tetra 45 電漿系統主要用於以下領域：分析（SEM、TEM）、考古學、汽車、生命科學、彈性體技術、電機工程、電子顯微鏡、精密工程、研究與開發、半導體技術、小批量生產，塑膠技術，醫學工程、微系統技術、太陽能電池技術、紡織技術等。

規格：

● 腔室容積：Ca。 45公升

● 外殼：

    ＞寬 600 毫米

    ＞高 1700 毫米

    ＞深800毫米

● 電漿產生器：

    ＞80 kHz / 0 - 1000 W； 0-3000W

    ＞100 kHz / 0 - 500 W

    ＞13.56 MHz / 0 - 300 W

    ＞2.45 GHz / 0 - 850 W

● 控制：

    ＞基本PC

    ＞全電腦

● 應用範例：

    ＞實驗室/小批量生產

    ＞生產/全自動

● 真空室：

    ＞鋁製長方形，附鉸鏈門：B 572 mm x H 125 mm x D 650 mm
    ＞附抽屜鋁製矩形：B 572 mm x H 125 mm x D 650 mm

品牌: Diener /德國, CE