桌上型自動膜厚儀 NS-30NIR
型號 :
NS-30NIR
NS-30系列是桌面式自動膜厚測量分析系統。在膜厚測量的基礎上迭加自動測樣載台，能夠對設置好的點位進行自動測量，並進一步生成2D和3D的資料分佈圖。 NS-30系列適用於晶圓膜厚測量或光伏電池膜厚測量等。
特色：
● 樣品自動測量，平臺尺寸100mm~450mm可選
● 軟件根據需求自動生成測量點位分佈
● 2D和3D測繪效果，包含厚度/折射率/反射率等信息
● 可測量薄膜應力和表面彎曲（Stress/Bow)
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型號 |
NS-30NIR |
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波長範圍 |
950 nm – 1700 nm |
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厚度測量範圍 |
150 nm – 250 μm |
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準確度 |
3 nm或0.4% |
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精度 |
0.1 nm |
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穩定性 |
0.12 nm |
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光斑大小 |
1.5 mm |
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測量速度 |
< 1s（單次測量） |
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光源 |
鹵鎢燈 |
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樣品尺寸 |
直徑從1mm到300mm或更大 |
