應用：

● Tetra 320R生產系統的腔室容積為320公升，採用 PC 控制，用於大量生產（清洗、蝕刻和活化）：例如分析、考古學、汽車、研發部門、半導體技術、小批量生產、塑膠技術、醫學工程、微系統技術、感測器技術、消毒、紡織技術等

規格：

● 腔體：∅ 640 mm，D 1000 mm

● 腔室容積：約320公升

● 外殼：

    ＞寬 870 mm

    ＞高 1860 mm (含腳）

    ＞深1400 mm

● 電漿產生器：80 kHz / 0 - 3000 W

● 控制:全電腦 (Windows)

● 氣體供應：2 個通過 MFC 的氣體通道

● 應用範例：生產/全自動

● 真空室：鋁製導軌，鉸鏈門：Ø 640 mm，D 1000 mm，最大深度3米

● 零件夾持夾具：依客戶要求

品牌: Diener / 德國, CE