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Parylene Coating真空鍍膜塗層
Parylene塗層機 派瑞林（Parylene）是20世紀60年代中期美國聯合碳化物公司開發的一種保護性高分子材料，使用真空氣相沉積工藝形成保護膜，薄膜具有厚度均勻、緻密無針孔、透明無應力、優異的電絕緣性和防護性等特點。主要用在塗料方面，是軍事標準中唯一一種固態塗料 Parylene塗層具有其他塗層難以比擬的性能優勢 是完全共形的，它們適應甚至複雜的基底輪廓如尖銳鋒利的邊緣，內孔孔或盲孔 塗層厚度大約為0時，不會留下許多細微針孔的缺點。0.5 µm 具有化學不溶性，並能抵抗多種化學物質 對水分和化學物質具有很好的阻隔性能 具有高介電強度 具有乾潤滑性（低摩擦係數） 具有疏水性：水的潤濕角介於92°和98°之間 在可見波長范圍內（介於90％和96％之間）透明（取決於類型） 具有生物相容性：可以分離C型和N型聚對二甲苯，並可以通過USP VI級，ISO 10993和FDA認證。 Parylene應用領域 因具有以上優勢，Parylene已經廣泛被應用到各個領域： 光電材料——電路、電路組件和元器件、微電子機械系統（MEMS）、傳感器以及光纖光纜接頭密封件：微米級塗層能對印製電路組件的表面提供非常可靠的防護，既不會對基材形成傷害，而且有利於元器件散熱；磁性材料：它能對小型超小型磁材進行無薄弱點全塗敷的磁材可浸鹽酸10天以上不腐蝕，目前國際上小型超小型磁材，幾乎都採用Parylene作絕緣和防護塗層；生物醫用領域：不僅電性能和防護性能好，而且具有生物兼容性和生物穩定性，無毒無副產物，而且可以進行常規消。此外還可以用在多功能服裝以及文物保護領域
晶圓的清洗
植入物的電漿處理
