序號

類  型

設備技術指標

1

爐體尺寸

1700*1760*850 (長*高*深）(mm)

2

反應腔體尺寸

4-8吋

3

主控工作溫度

≤1150℃

4

主控升溫速率

建議≤20℃/min

5

主控加熱元件

環形HRE高溫電阻絲

6

主控爐膛材料

氧化鋁纖維保溫耐火材料

7

主控溫區長度

 259+627+213  恒溫區600mm

8

溫度控溫範圍及精度

300~1150℃±1℃

9

升降溫速率

升溫≤15℃/min 降溫≤5℃/min

10

密封方式

不銹鋼開啟法蘭

11

法蘭結構

快開式

12

測溫元件

K型熱電偶

13

徑向溫場分佈毫伏值

14

流量計類型

3路浮子流量計（客戶定義流量規格）